13产品名称：JBQ-3100型自动金属膜剥离机

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hughy

【摘要】

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研制单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所产品介绍：JBQ-3100型自动金属膜剥离机，针对国内声表面波（SAw）器件制造过程中金属膜剥离工艺需求，突破了多腔体SAW圆片自动传输、浸泡

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2016年2期

【关键词】

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3100型金属膜剥离机产品名称中国电子科技集团公司声表面波器件制造过程剥离工艺

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研制单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所产品介绍：JBQ-3100型自动金属膜剥离机，针对国内声表面波（SAw）器件制造过程中金属膜剥离工艺需求，突破了多腔体SAW圆片自动传输、浸泡槽结构设计与制造、多功能腔体结构设计与制造、化学液增压／加热／循环／过滤／再利用和声表面波器件金属膜剥离工艺等关键技术，

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