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非晶硅光位敏探测器的开发
非晶硅光位敏探测器的开发
来源 :四川大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:QQ81886788
【摘 要】
:
以横向光伏效应为工作模式,采用全非晶硅的Pin结构,研制了一维可见光波段的光位敏探测器(PSD_s).测试结果表明,该探测器的光位敏度可达9.7mV/mm,光讯号—位移的线性探测区占
【作 者】
:
杜开瑛
杨熹
伍红跃
冯良桓
周心明
邱上源
【机 构】
:
四川大学物理系,四川大学材料科学系
【出 处】
:
四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
1993年2期
【关键词】
:
非晶硅
探测器
光位敏度
amorphous silicon
detector
photopositional sensitivity.
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以横向光伏效应为工作模式,采用全非晶硅的Pin结构,研制了一维可见光波段的光位敏探测器(PSD_s).测试结果表明,该探测器的光位敏度可达9.7mV/mm,光讯号—位移的线性探测区占有效探测总面积的65%,而最大有效光敏面积约为2cm~2.更多还原
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