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微位移测量技术可以实现微距环境下的位置感知与位移操作,其关键在于对位移的精密测量及实时传输。本研究基于平面双叉指电容和ZIGBEE技术设计了一种无线位移传感器系统,该系统由四部分组成:位移-电容转换模块,电容采集、发送节点,电容接收节点,基于VC++开发的实时监控及结果显示软件。此外,下位机是基于ZIGBEE无线通信协议开发的。通过实验证明:系统具备6 mm的测量范围,10 um的分辨率,通信距离50 m。