【摘 要】
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在生产中,电抛光的目的是为了防止晶片表面的沾污和已形成的合金结与晶片之间的局部沟道。也就是说,器件经过电抛光后,不仅仅是使晶片表面光洁,更主要的是使合金半球与晶体相
【机 构】
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黑大物理系,黑大物理系,黑大物理系,牡丹江晶体管厂,牡丹江晶体管厂
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在生产中,电抛光的目的是为了防止晶片表面的沾污和已形成的合金结与晶片之间的局部沟道。也就是说,器件经过电抛光后,不仅仅是使晶片表面光洁,更主要的是使合金半球与晶体相连的边缘(周界)在
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