论文部分内容阅读
<正> 绝缘体上硅(SOI)工艺应用于诸如军事和空间电子系统等专门场合,已有二十多年历史了。由于SOI具有良好的抗辐射性和高速特性,使它在这些领域具有独特的优点。但是,因为它的材料价格较高,所以它每功能单元的成本高于体硅。然而,已出现三种新型SOI工艺,这些新工艺能够促进微
绝缘体上硅工艺的最新进展
【摘 要】
：
<正> 绝缘体上硅(SOI)工艺应用于诸如军事和空间电子系统等专门场合,已有二十多年历史了。由于SOI具有良好的抗辐射性和高速特性,使它在这些领域具有独特的优点。但是,因为它
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
1991年4期
其他文献
文章研究表明物流园区产品属性与企业入驻预期收入和消费需求密切相关，并用一个数学模型进行了解释，得到了我国物流园区经营性主导的结论，将对我国物流园区供给的改进提供一些理
目的:分析银汞合金充填术失败原因,以指导临床治疗.方法:对1997～2001年银汞合金充分填术失败286例患牙作回顾性分析.结果:银汞合金充填术失败原因有充填后疼痛、边缘裂隙和继
<正> 英国在1997年的平均房价为75000英磅,但与大多数欧洲国家相比,英国拥有住房的人数较多。这促使英国的住房市场及房产交易十分顺畅。在英国,当你出去买房的时候,只需要记
本文分析了大数据时代新闻产生的变革，阐述了大数据时代新闻从业人员需要有数据收集能力、分析数据能力、解读数据能力。笔者认为当前对新闻采编人员进行职业能力培训是当务之
本文详细地综述了自然空间环境中总剂量电离辐照引起的MOS器件性能衰降;MOS介质经受电离辐射期间产生的界面和氧化物电荷使得大量器件电特性发生变化;所观察到的辐射影响包括
外延侧向附晶生长(ELO)技术是在单晶硅上面的氧化岛的边缘引晶并在氧化层上附晶生长CVD硅来形成SOI层; ELO技术用常规的外延反应炉来生长外延硅;与别的SOI方法相比,这种SOI膜
北京航空材料研究院的黄艳华等人研究了有机侧基种类对硅橡胶低温性能的影响。研究表明，大体积有机侧基的引入可破坏硅橡胶的低温结晶；DMTA分析表明，当大体积基团数目达到一定数