行波管夹持杆微波等离子体化学气相沉积金刚石厚膜改善散热性能研究

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【摘要】

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采用微波等离子体化学气相沉积法在行波管Ａｌ２Ｏ３夹持杆上沉积金刚石厚膜，取代传统有毒的氧化铍陶瓷杆，用于宽带大功率行波管改善其散热性能，经材料性能测试，慢波组件装配及性能测试，获得

【作者】

：

谢扩军

【机构】

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电子科技大学

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

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2000年9期

【关键词】

：

微波等离子体化学气相沉积金刚石行波管 microwave plasma CVD support rod diamond TWT heat dissipat

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采用微波等离子体化学气相沉积法在行波管Ａｌ２Ｏ３夹持杆上沉积金刚石厚膜，取代传统有毒的氧化铍陶瓷杆，用于宽带大功率行波管改善其散热性能，经材料性能测试，慢波组件装配及性能测试，获得较好的实验结果：导热率大于１２Ｗ／ｃｍ．℃，介电常数为５．０～５．５，介质损耗为１×１０＾－３，体积电阻率大于１０＾１３Ω／ｃｍ；慢波组件导热性能与同结构的ＢｅＯ组件相比提高３．０倍。整管冷测参数全部合格；整管热测在Ｃ波

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