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研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。
基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术
【摘 要】
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研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。
【机 构】
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中国工程物理研究院
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2010年B09期
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糟了，7点40分了！要迟到啦！ 我猛地爬起来，赶紧把衣服往身上套。咦，这衣服怎么这么大？我仔细一看，原来是外套！我急忙脱下来，穿好毛衣，再穿外套。唉，袜子哪去了？我朝床下一看，发现它们静静地躺在那。我赶紧把袜子捡起来套在脚上。 我匆忙看一眼挂钟。呀！已经7点45分了。 我赶紧去刷牙洗脸，可牙膏瘪瘪的，挤不出一点牙膏。唉，妈妈的记性真差，昨天又忘买牙膏了。我用清水漱了漱口，再用毛巾把脸擦了擦，
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