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分别通过Langmuir静电探针测量和数值模拟方法研究了等离子体增强化学气相沉积系统中氩等离子体中电子密度和电子平均能量的径向分布规律.实验结果表明：从放电中心到电极边缘方向,电子密度和电子平均能量呈逐渐增大的趋势.数值模拟结果和Langmuir静电探针测量结果符合得较好.
PECVD系统中等离子体参数径向分布的研究
【摘 要】
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分别通过Langmuir静电探针测量和数值模拟方法研究了等离子体增强化学气相沉积系统中氩等离子体中电子密度和电子平均能量的径向分布规律.实验结果表明：从放电中心到电极边缘
【机 构】
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安庆师范学院物理与电气工程学院
【出 处】
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四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年3期
【基金项目】
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安庆师范学院青年科研基金(044-K10025000031)
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