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本文较全面地介绍了微电子工艺模拟、半导体器件模拟、及电子电路模拟在微电子领域中的应用
微电子领域工艺,器件,电路,CAD技术
【摘 要】
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本文较全面地介绍了微电子工艺模拟、半导体器件模拟、及电子电路模拟在微电子领域中的应用
【机 构】
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山东工业大学,山东省电子器材厂
【出 处】
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山东科学
【发表日期】
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1994年1期
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