【摘 要】
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相比传统的IC器件,MEMS器件的特性要复杂得多,在封装之前就需要进行测试MEMS产业发展十分迅速,但是人们常常忽视对其的早期测试。乍一看来,MEMS器件和传统IC器件的制造十分相
【机 构】
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SUSS MicroTec公司,SUSS MicroTec公司,
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相比传统的IC器件,MEMS器件的特性要复杂得多,在封装之前就需要进行测试MEMS产业发展十分迅速,但是人们常常忽视对其的早期测试。乍一看来,MEMS器件和传统IC器件的制造十分相似,但是,由于MEMS器件具有
Compared to traditional IC devices, MEMS devices are much more complex and require testing before they are packaged. The MEMS industry is growing rapidly, but early tests are often overlooked. At first glance, MEMS devices are very similar to traditional IC devices, however, since MEMS devices have
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