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为实现水听器体积微型化,提高其固有频率并保证灵敏度,提出了一种新型无源器件,即基于压电效应的微机电系统(MEMS)一维球形矢量水听器。使用COMSOL软件进行仿真设计,确定器件关键尺寸。采用MEMS工艺加工制得器件并进行测试,结果表明:该水听器灵敏度达到-205 dB(0 dB=1 V/μPa),固有频率可达到1.6 kHz,具有良好的一维指向性。