埋入式无线MEMS应变片系数的标定

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【摘要】

：

本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统)无线应变片性能的实验标定方法.通过引入一个当量应变片,遵照标准应变片的标定规定,本文设计了实用有效的实验标定步骤.分别对标准

【作者】

：

周嘉曹莉 S.C.Mantell Chuck Hautam

【机构】

：

复旦大学微电子学系,美国明尼苏达大学机械系,复旦大学微电子学系

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2002年2期

【关键词】

：

标定埋入式应变片 MEMS 应变片系数 calibration embedded strain sensor MEMS gage factor

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本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统)无线应变片性能的实验标定方法.通过引入一个当量应变片,遵照标准应变片的标定规定,本文设计了实用有效的实验标定步骤.分别对标准应变片和MEMS试样进行完全相同的拉伸实验,从而得到埋入MEMS应变片的应变片系数(灵敏度)为13,同时获得在实验试样的制作条件下,测量应变与实际应变之比为2.

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