【摘 要】
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简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明 ,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室,中国科学院高能物理研究所同步辐射实验室 合肥230026,合肥230026,北京1000
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简述了微电子机械系统的起源和特点 ,介绍了LIGA技术的基本原理以及一些相关技术 ,对同步辐射深度光刻的技术要求进行了详细地说明 ,并介绍了国内外利用LIGA技术进行微电子机械系统研发的现状
The origin and characteristics of microelectromechanical system are briefly introduced. The basic principle of LIGA technology and some related technologies are introduced. The technical requirements of deep synchrotron radiation lithography are described in detail. And the application of LIGA technology to microelectronics The status quo of mechanical system research and development
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