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本文介绍了采用高技术的检测元件，并介绍了光栅尺、磁尺和感应同步器各自的优点。采用新技术的光栅装置，可将机床的精度提高到亚微米级。
提高机床精度的高技术检测元件
【摘 要】
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本文介绍了采用高技术的检测元件，并介绍了光栅尺、磁尺和感应同步器各自的优点。采用新技术的光栅装置，可将机床的精度提高到亚微米级。
【出 处】
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世界制造技术与装备市场
【发表日期】
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1995年1期
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