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以氧化铟锡膜为例，讨论氧化物导体透明导电薄膜载流子浓度的理论上限，建立模型并给出了理论公式，得出氧空位和掺杂的最佳含量值。该理论也适用于掺铝氧化锌薄膜．
ITO薄膜载流子浓度的理论上限
【摘 要】
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以氧化铟锡膜为例，讨论氧化物导体透明导电薄膜载流子浓度的理论上限，建立模型并给出了理论公式，得出氧空位和掺杂的最佳含量值。该理论也适用于掺铝氧化锌薄膜．
【机 构】
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河北工业大学应用物理系
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2000年3期
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