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总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点。详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关键技术、误差补偿、现状及发展方向。并介绍了合肥国家同步辐射实验室长程面形仪的进展。
长程大型非球面轮廓测量仪的研究
【摘 要】
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总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点。详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关键技术、误差补偿、现状及发展方向。并介绍
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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教育部211工程建设项目;
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