基于虚拟仪器的分子泵抽速自动测试软件设计

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 1次 | 上传用户：lgdtmz

【摘要】

：

针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调节气体质量流量控制计的通气量,实现对压强实验点的稳定控制;采用继电型PID参数自整定技术提高算法对系统的适应性、该软件提高了分子泵抽速测量工作中数据采集和压强调节的

【作者】

：

赵博文延峰杨传森卢耀文董云宁邵壮梁西银

【机构】

：

西北师范大学物理与电子工程学院兰州730070北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029;北京东方计量测试研究所北京100029;北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029;西

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2020年07期

【关键词】

：

分子泵抽速测试 LabVIEW PID自整定

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