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TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展
TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pgglankejianxin
【摘 要】
:
综合介绍TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和TiO2材料的特性,比较了各种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性,就制备方法-材料微观结构-氧敏性能关系中的几个重要问
【作 者】
:
潘海波
陈耐生
林德娟
沈水发
黄金陵
【机 构】
:
福州大学功能材料研究所
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
TiO2基氧化物
金红石相
氧敏传感器
半导体器件
TiO2 based on doped metal ions Rutile Oxygen gas senso
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综合介绍TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和TiO2材料的特性,比较了各种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性,就制备方法-材料微观结构-氧敏性能关系中的几个重要问题,进行了深入的探讨,并对今后的研究开发与产业化,结合本课题组的研究工作,提出了几点建议。
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