【摘 要】
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本文叙述扩散钛的LiNbO_3光波导器件的制作工艺.这过程包括:光刻;掩膜的精确定位和校准;金属扩散及波导端部抛光和晶体解理.
This article describes the fabrication of Li
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本文叙述扩散钛的LiNbO_3光波导器件的制作工艺.这过程包括:光刻;掩膜的精确定位和校准;金属扩散及波导端部抛光和晶体解理.
This article describes the fabrication of LiNbO 3 optical waveguide devices that diffuse titanium, including: lithography; precise mask positioning and alignment; metal diffusion and waveguide tip polishing and crystal cleavage.
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