SnO_2薄膜的喷涂法制备

来源 :内蒙古大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangzhibo0508

【摘要】

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采用ＳｎＣｌ４水解溶液，用喷涂、退火的方法制备ＳｎＯ２薄膜，并研究了ＳｎＯ２薄膜的电特性和掺杂浓度的关系 Using SnCl4 hydrolysis solution, the SnO2 thin film was prepared by spraying and

【作者】

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贾维国宋晓琴张常在刘玉琴

【机构】

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【出处】

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内蒙古大学学报(自然科学版)

【发表日期】

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1999年06期

【关键词】

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喷涂法 SnO_2 电特性施主浓度反应溅射退火过程退火温度溶液喷涂氧空位醇溶液

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采用ＳｎＣｌ４水解溶液，用喷涂、退火的方法制备ＳｎＯ２薄膜，并研究了ＳｎＯ２薄膜的电特性和掺杂浓度的关系 Using SnCl4 hydrolysis solution, the SnO2 thin film was prepared by spraying and annealing, and the relationship between the electrical properties and doping concentration of SnO2 thin film was studied.

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