晶圆/晶圆盒表面状态对氮气净化处理的影响

来源 :电子与电脑 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ec54lulu
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在湿式或干式晶圆/晶圆盒表面状态下进行氮气净化测试.在快速的净化与进入过程(无净化)中测试了氧气与湿气浓度.测量采用60、30和5LPM(升/每分钟)的吹气流率以及2个小时的进入测试时间.结果显示,净化与进入过程中的晶圆盒(FOUP)内氧气浓度几乎与晶圆/晶圆盒状态无关.另一方面,晶圆/晶圆盒表面状态对湿气净化及进入过程有重大影响.晶圆/晶圆盒的表面状态越干燥,晶圆盒内就能够实现越低的湿气浓度并在净化与进入过程中得以保持.
其他文献
<正>咖啡碱(又名咖啡因)是传统茶叶饮料中的主要呈味物质和生理效应成分之一。尽管目前普遍认为适量咖啡碱对健康成年人一般无害,然而,过量服用咖啡碱,尤其是在短时间内服用,
备受瞩目的DVD Recorder(以下简称DVR),在规格问题趋于底定、芯片、碟机成本大幅下滑三大前提下,可望于2004年首度冲破1000万台全球出货大关(见图1)。
新课程理念下,语文教学要体现和突出人文性,可是在具体的教学中,表现并不尽然,不乏有应试教育和工具功利的痕迹在内。因而需要从教材、课堂模式、师生关系、评价形态、课外实
常常听到人们赞扬聪明和天才的成功者为“无师自通”,这说明自主学习是一种高超的行之有效的重要学习方法。自主学习是个人终身学习的最亲近的良师益友,数学新课程非常重视自主
易学是中国最古老的哲学,是中国最古老的世界观和方法论。易道最基本的出发点是阴阳,是先民观测天象地物之间相互关系的结果。易道与易数,易数与律历,八卦与五行,它们彼此之
同一思想内容可以选用不同的词语或句式来表达,采用什么样的词语或何种句式效果最好,往往决定于特定的语言环境。一个合乎语法的句子,本身并无好坏之分,只有在语言环境中才能
国际整流器公司(International Rectifier,简称IR)近日推出四款新型FlipKY肖特基二极管.与业界普通标准的肖特基器件相比,它们的体积更小,工作效率更高.这些新型0.5A和1.0A器
2002年是北京讯怡公司成长迅速的一年,除了精英系列产品代理业务以外,北京讯怡在2002年下半年成功面向市场推出了自有品牌一威霸系列显卡。继讯怡威霸品牌推向市场以来,2003年初
提出一种新型的螺旋形组合式非周期缺陷接地结构(CNPDGS),该结构具有良好的阻带特性与可调性.对该结构的参数变化进行分析与总结,发现根据其特性级连不同尺寸的结构并应用到低通滤