【摘 要】
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<正> 最近,日本的安永畅男等人,着眼于CO_2激光极易被陶瓷材料吸收,而且易使陶瓷材料熔化和蒸发的特点,开发了以CO_2激光为蒸发热源的新激光物理气相沉积法(激光PVD),发现用
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<正> 最近,日本的安永畅男等人,着眼于CO_2激光极易被陶瓷材料吸收,而且易使陶瓷材料熔化和蒸发的特点,开发了以CO_2激光为蒸发热源的新激光物理气相沉积法(激光PVD),发现用该方法可以高效率制做均质、致密和高硬度的陶瓷膜。特别是,在激光蒸镀时,用N离子同时照射,或通过兼用激光感应放电,可以形成超硬质的cBN膜和DLC膜(类金刚石碳素膜)。这些膜可以蒸镀在切削刀具和耐磨构件上。下面介绍这种
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