【摘 要】
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一、前言 ML—12型力放应变片系采用半导体平面工艺,在N型硅单品片上扩散P型杂质,形成两个电阻条而制成的。它具有体积小,灵敏度高等优点,是一种新颖的半导体力敏应变片。它
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一、前言 ML—12型力放应变片系采用半导体平面工艺,在N型硅单品片上扩散P型杂质,形成两个电阻条而制成的。它具有体积小,灵敏度高等优点,是一种新颖的半导体力敏应变片。它适用于各种贴片式加速度传感器和其它贴片式力传感器。 ML—12型力敏应变片是综合了加速
I. INTRODUCTION The ML-12 strain gages are made of semi-conductor planar technology, which diffuses P-type impurities on the N-type silicon single-piece to form two resistance strips. It has the advantages of small size, high sensitivity, is a novel semiconductor force-sensitive strain gauge. It is suitable for a variety of patch accelerometers and other patch force sensors. ML-12-type strain gauge is a combination of acceleration
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