高结合力工模具TiN涂层的制备

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本文分析了电弧离子镀TiN涂层各工艺参数的相互关系,提出了以镀膜温度为主控参数的工艺设计思路;探讨了TiN涂层膜/基结合强度与涂层组织结构的关系和制备高结合力涂层的技术方法.
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