用机器视觉检测集成电路芯片的图像分割方法研究

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在研制检测集成电路芯片的机器视觉系统中,研究运用Mahalanobis距离方法,对摄取的芯片图像进行图象分割。实验结果表明,对处于环境复杂、低对比度、细节多的芯片图象能够产生很好的分割效果。该方法鲁棒性强,能保证分割质量,能显著提高机器视觉的检测精度。亦可用于对其它产品的尺寸及表面质量检验测量。
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