【摘 要】
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本文是对在多个深能级情况下求分布的理论的改进.原来的理论不适用于在Fermi能级与所研究深能级之间存在浓度与载流子浓度可以比拟的深能级的情况,也不适用于待研究深能级位
【出 处】
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中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)
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本文是对在多个深能级情况下求分布的理论的改进.原来的理论不适用于在Fermi能级与所研究深能级之间存在浓度与载流子浓度可以比拟的深能级的情况,也不适用于待研究深能级位于禁带中央附近的情况.本工作克服了这些限制,使原有理论适用于更普遍的情况.对于质子注入直拉硅,在存在高浓度氧空位E(0.15)的条件下,求出了双空位第二受主能级E(0.22)的分布,并与不考虑E(0.15)的条件下求出的E(0.22)的分布作了对比.
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