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研究目的在于针对整体十字形压电式纳米开关（PZT）设计实时控制算法（ZV成型器）以改进其暂态响应并减小稳态误差值。实验结果表明，系统具有较好的控制品质和优异的动态性能。
基于ZV成型器的纳米精度定位系统研究
【摘 要】
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研究目的在于针对整体十字形压电式纳米开关（PZT）设计实时控制算法（ZV成型器）以改进其暂态响应并减小稳态误差值。实验结果表明，系统具有较好的控制品质和优异的动态性能。
【机 构】
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南京航空航天大学,威斯康星大学斯托特分校,新泽西理工大学
【出 处】
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工业控制计算机
【发表日期】
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2012年11期
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