Cleaning of carbon-contaminated optics using O2/Ar plasma

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污染碳的 beamline 光学清洗被 RF 血浆分泌物过程用 O <sub>2</sub>/Ar 学习。碳涂的样品被准备,并且通过他们的清洗进程,钥匙参数是坚定的,混合 O <sub>2</sub>/Ar, 和房间真空的率,例如最佳的 RF 输出力量。考虑在清洗 beamline 光学对可能的不利效果被做,例如比较在清洗,和电报屏蔽上的可能的有害运动效果前后的样品的粗糙。在清洗下面,在 beamline 光子流动清洗 beamline 光学,移开的碳电影的
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