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不同脉冲激光沉积距离对TiO_(2)沉积薄膜的影响

来源 :西北师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Lincon

【摘 要】

：

应用纳秒脉冲激光沉积技术分别在距离靶面6.0,7.0,8.0,9.0和10.0 cm位置处制备了TiO2薄膜.基于扫描电镜(SEM)、X射线能谱(EDS)、X射线光电子能谱(XPS)、紫外-可见吸收光谱(UV

【作 者】

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董晨钟 刘金柱 苏茂根 杜颖 胡素素 

【机 构】

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西北师范大学物理与电子工程学院/甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室

【出 处】

：

西北师范大学学报:自然科学版

【发表日期】

：

2021年3期

【关键词】

：

脉冲激光沉积  金红石TiO2  TiO2薄膜  Magnéli相氧化钛  pulsed laser deposit 

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(11874051,12064040,11904293),甘肃省科技攻关项目(20JR5RA530),基础研究创新课题基金资助项目(20JR5RA541)

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应用纳秒脉冲激光沉积技术分别在距离靶面6.0,7.0,8.0,9.0和10.0 cm位置处制备了TiO2薄膜.基于扫描电镜(SEM)、X射线能谱(EDS)、X射线光电子能谱(XPS)、紫外-可见吸收光谱(UV-Vis spectroscopy)以及四探针测阻表征技术对TiO2沉积薄膜形貌、元素种类及其分布、元素价态、光学性能和电学性能进行了表征分析.结果表明,应用脉冲激光沉积技术制备TiO2薄膜具有良好的保成分性,溅射颗粒随沉积距离的增加而减少、变小.

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