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BaxSr（1—x）TiO3多层膜椭偏光谱研究

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jwh777

【摘 要】

：

用溶胶-凝胶技术在Si(100)衬底上制备了单层和渐变型多层的BaxSr(1-x)TiO3薄膜,其膜层组分分别为:Ba0.7Sr0.3TiO3, Ba0.8Sr0.2TiO3, Ba0.9Sr0.1TiO3, BaTiO3. 对生长制备出的

【作 者】

：

张曰理 莫党 S.U.Adikary C.L.Mak H.L 

【机 构】

：

中山大学光电材料与技术国家重点实验室,香港理工大学

【出 处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2003年1期

【关键词】

：

BaxSr(1-X)TiO3 多层膜 椭偏光谱 光学常数 钛酸锶钡 光学性质 BaxSr(1-x)TiO3 multilayer thin film spect 

【基金项目】

：

广东省自然科学基金，教育部留学回国人员科研启动基金，香港理工大学校科研和教改项目

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用溶胶-凝胶技术在Si(100)衬底上制备了单层和渐变型多层的BaxSr(1-x)TiO3薄膜,其膜层组分分别为:Ba0.7Sr0.3TiO3, Ba0.8Sr0.2TiO3, Ba0.9Sr0.1TiO3, BaTiO3. 对生长制备出的多层BaxSr(1-x)TiO3薄膜进行了变角度椭偏光谱测量. 通过椭偏光谱解谱分析研究,首次得到了BaxSr(1-x)TiO3多层膜结构不同膜层的膜厚和光学常数. 其结果显示:椭偏光谱分析得到的不同膜层的膜厚与卢瑟福背向散射测量得到的结果基本相符;渐变型多层膜中BaT

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