中频溅射技术制备镱铒共掺Al2O3光波导

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【摘要】

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在硅单晶(100)衬底上用热氧化法氧化一层SiO2做缓冲层,在高纯铝靶上镶嵌金属Yb,Er,然后用中频磁控溅射法制备了镱铒共掺杂氧化铝薄膜.讨论了靶电压及沉积速率随氧流量的变化

【作者】

：

宋琦宋昌烈高景生李成仁李淑凤李建勇李国卿

【机构】

：

大连理工大学

【出处】

：

激光技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

中频溅射镱铒共掺光致发光光谱光波导 middle frequency sputter；Yb^3＋/Er^3＋co-doped photolurmnese

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在硅单晶(100)衬底上用热氧化法氧化一层SiO2做缓冲层,在高纯铝靶上镶嵌金属Yb,Er,然后用中频磁控溅射法制备了镱铒共掺杂氧化铝薄膜.讨论了靶电压及沉积速率随氧流量的变化的磁滞回线效应,分析得出了沉积氧化物薄膜的最佳氧流量.在室温下检测到了薄膜的位于1535nm的很强的光致发光光谱(PL),并在光学掩模下用BCl3离子束对薄膜样品进行刻蚀,得到条形光波导.

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