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在原子氧(AO)侵蚀地面模拟试验设备中对聚酰亚胺(Kapton)和涂ZnO-有机硅防护层的样品进行原子氧剥蚀效应试验.用LAMBDA-9分光度计、光电子能谱(XPS)、红外光谱(FTIR)和扫描电镜(SEM)等对试验前后试样的表面形貌、质量及化学结构进行表征研究.AO对Kapton表现了较严重的侵蚀作用,其化学结构、元素百分含量和表面形貌都发生明显变化.而所施用的ZnO-有机硅涂层对AO辐照有较强的防护效果,并具有较好的空间稳定性.因腐蚀产物为SiO2,这对抑制AO的进一步侵蚀起到了关键作用.