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研究了焦点位置、输出功率和不同气体切割环境对金刚石膜切割的影响,给出了采用Nd:YAG激光器切割金刚石膜的具体方法.
CVD金刚石膜激光切割工艺研究
【摘 要】
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研究了焦点位置、输出功率和不同气体切割环境对金刚石膜切割的影响,给出了采用Nd:YAG激光器切割金刚石膜的具体方法.
【机 构】
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武汉化工学院
【出 处】
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武汉化工学院学报
【发表日期】
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2005年9期
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