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现代通讯、能源、电子及生物医学的快速发展,对膜层材料的性能和功能要求逐渐提高,对各种金属及合金靶材的需求日益增加,并且在功能和质量上要求更为严格.本文以铜、铝、锌、钛及镁等金属及合金靶材为例,介绍应用领域和基本加工方法,拓展了金属靶材的认识.
金属靶材的应用及加工发展
【摘 要】
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现代通讯、能源、电子及生物医学的快速发展,对膜层材料的性能和功能要求逐渐提高,对各种金属及合金靶材的需求日益增加,并且在功能和质量上要求更为严格.本文以铜、铝、锌、钛及镁等金属及合金靶材为例,介绍应用领域和基本加工方法,拓展了金属靶材的认识.
【机 构】
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深圳市众诚达应用材料科技有限公司 广东 深圳 518000;深圳市众诚达应用材料科技有限公司 广东 深圳 518000
【出 处】
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数字化用户
【发表日期】
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2021年26期
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