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钛酸锶铅（PST）薄膜是一类重要的铁电薄膜材料。采用溶胶一凝胶法在硅（100）衬底上制备了钛酸锶铅薄膜。利用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）等表征手段，表征了不同锶掺杂量及不同退火温度对薄膜结晶性能的影响。通过实验发现：锶掺杂对薄膜的微观结构和表面形貌有重要的影响。由XRD谱图发现，随着锶掺入量的增加，Pb1-xSrxTiO，3膜中的晶轴比、晶胞体积都逐渐减小，晶化温度降低。通过AFM发现，相同掺锶量的薄膜随着退火温度的升高，结晶性能增强，颗粒增大，粗糙度增加。