Ti—Si—N纳米晶复合膜微结构的TEM观察

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asd123123liu
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2000年,Veprek [1]等报道了在Ti-Si-N复合膜中获得了80~150GPa的超高硬度,这一超过金刚石薄膜硬度(70~90GPa)的结果令人惊讶并引起竞相研究.
其他文献
【摘要】到底什么是科学素养?《面向全体美国人的科学》一书中,将科学素养定义为包括数学、技术、自然科学和社会科学许多方面,这些方面包括:熟悉自然界,尊重自然界的统一性;懂得科学、数学和技术相互依赖的一些重要方法:了解科学的一些重大概念和原理;有科学思维能力;认识到科学、数学和技术是人类共同的事业,认识它们的长处和局限性。同时,还应该能够运用科学知识和思想方法处理个人和社会问题。  【关键词】科普资源
本文采用背散射电子衍射(EBSD)及透射电镜(TEM)技术对拉伸变形单晶铝([110]方向平行于拉伸轴)的显微组织进行了表征,直接对比了两种分析手段所得结果的异同. 结果发现,单晶铝