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Ti—Si—N纳米晶复合膜微结构的TEM观察
Ti—Si—N纳米晶复合膜微结构的TEM观察
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asd123123liu
【摘 要】
:
2000年,Veprek [1]等报道了在Ti-Si-N复合膜中获得了80~150GPa的超高硬度,这一超过金刚石薄膜硬度(70~90GPa)的结果令人惊讶并引起竞相研究.
【作 者】
:
董云杉
孔明
李戈扬
【机 构】
:
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
TI-SI-N
复合膜
微结构
纳米晶
TEM观察
SI3N4
TIN
超高硬度
薄膜硬度
【基金项目】
:
上海市专利技术再创新项目
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2000年,Veprek [1]等报道了在Ti-Si-N复合膜中获得了80~150GPa的超高硬度,这一超过金刚石薄膜硬度(70~90GPa)的结果令人惊讶并引起竞相研究.
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