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本文介绍了纳米测量系统的组成和纳米样板的研究现状,讨论了AFM探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,用该方法进行了一维纳米结构样板的制备,并对实验结果进行了分析.
用AFM探针诱导局域氧化工艺制备纳米样板的研究
【摘 要】
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本文介绍了纳米测量系统的组成和纳米样板的研究现状,讨论了AFM探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数,用该方法进行了一维纳米结构样板的制备,并对实验结果进行了分析.
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2003年8期
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