【摘 要】
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通过W(CO)6化学气相沉积(MOCVD)工艺,在碳纤维表面沉积得到了碳化钨膜材料,研究了碳纤维表面沉积碳化钨膜的工艺条件。结果表明:在400℃沉积温度下沉积时间15min,一定浓度的W
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院,中国钢研科技集团有限公司
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通过W(CO)6化学气相沉积(MOCVD)工艺,在碳纤维表面沉积得到了碳化钨膜材料,研究了碳纤维表面沉积碳化钨膜的工艺条件。结果表明:在400℃沉积温度下沉积时间15min,一定浓度的W(CO)6可解离沉积在碳纤维表面形成致密碳化钨膜;膜层厚度0.4μm,物相为WC1-x相,与碳纤维基体结合强度高。DTA分析表明,复合碳纤维的抗热氧化性能得到了明显提高。
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