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研究一种制作在集成电路压焊点金属下面的以二极管为基本单元的静电放电保护结构，这样减小了为制作静电保护电路而消耗的面积。这种结构用金球或铝楔入压焊的方法，用三层或四层金属CMOS工艺制成。压焊后目检没发现不正常现象，电测试也没发现ESD所造成的失效。这种结构通过了产品质量等级测试。
金属压焊点下面ESD结构的可靠性研究
【摘 要】
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研究一种制作在集成电路压焊点金属下面的以二极管为基本单元的静电放电保护结构，这样减小了为制作静电保护电路而消耗的面积。这种结构用金球或铝楔入压焊的方法，用三层或四层
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
【出 处】
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信息技术与标准化
【发表日期】
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2008年12期
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