【摘 要】
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用线扫描方法研究某种型号的3cm卡夫曼离子源的稳定性,先介绍了线扫描法估计去除函数的方法以及其数学模型,用线扫描法扫描两块微晶镜面,估计出在不同时间的去除函数,分析去
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用线扫描方法研究某种型号的3cm卡夫曼离子源的稳定性,先介绍了线扫描法估计去除函数的方法以及其数学模型,用线扫描法扫描两块微晶镜面,估计出在不同时间的去除函数,分析去除函数的波动情况来考察离子源稳定性。结果表明该种型号的3cm卡夫曼离子源具有很好的稳定性,满足光学镜面加工要求。
The stability of a certain type of 3cm KFM ion source was studied by using the line scanning method. Firstly, the method of estimating the removal function by the line scanning method and its mathematical model were introduced. The two microcrystal mirror surfaces were scanned by the line scanning method, Time removal function, analysis of the removal of fluctuations in the function to examine the ion source stability. The results show that this type of 3cm Kraftman ion source has good stability, to meet the optical mirror processing requirements.
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