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本文主要报道ＩｎＰ光波导和ＩｎＧａＡｓ－ＰＩＮ光电探测器的单片集成，包括材料生长、器件工艺、器件测试三个部分。
InP系波导和光电探测器单片集成
【摘 要】
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本文主要报道ＩｎＰ光波导和ＩｎＧａＡｓ－ＰＩＮ光电探测器的单片集成，包括材料生长、器件工艺、器件测试三个部分。
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,浙江大学信电系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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