向半导体生产用的10级洁净室迈进的途径

来源 :建筑技术通讯(暖通空调) | 被引量 : 0次 | 上传用户:nwhitewolf
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“10级”洁净室是美国研究成功而最近建成的房间,对于0.5微米及0.5微米以上的粒子每立方英尺不超过10颗;对于1.0微米及1.0微米以上的粒子不超过1颗。这个新的等级已建议增加到美国联邦标准中去,该级是现在能达到的最好的空气洁净状态。 100级洁净室目前在电子工业中使用最多(也有一些在10,000级房间中设置100级洁净工作台的)。要保持100级状态,必须使房间获得“层流”空气,通过供应不变的 The “Class 10” clean room is a recently completed and recently completed study room in the United States, with no more than 10 particles per cubic foot for particles of 0.5 micron and 0.5 micron and no more than 1 particle for 1.0 micron and 1.0 micron. This new grade has been proposed to be added to the U.S. federal standard, which is the best clean air condition that can now be achieved. Class 100 cleanrooms are currently used most in the electronics industry (and there are also some Class 100 clean benches in class 10,000 rooms). To maintain a level 100 status, the room must be given “laminar” air, supplied unchanged
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