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扼要介绍了通常的硅ＣＭＯＳ、双极和ＢｉＣＭＯＳ技术以及ＧａＡｓ、ＧｅＳｉ技术的发展趋势，同时也介绍了高速集成技术发展中引入的一些新技术。
集成电路工艺技术及其应用的发展趋势
【摘 要】
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扼要介绍了通常的硅ＣＭＯＳ、双极和ＢｉＣＭＯＳ技术以及ＧａＡｓ、ＧｅＳｉ技术的发展趋势，同时也介绍了高速集成技术发展中引入的一些新技术。
【机 构】
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信息产业部电子第24所
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2000年10期
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