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对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究,并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线.经测试,通过闭环控制的定位重复性精度在-15 nm～+15 nm以内,采取这些关键技术措施是可行的.
压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究
【摘 要】
：
对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究,并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线.经测试,通过闭环控制的定
【机 构】
：
哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,计算机与电气工程学院,哈尔滨,150001
【出 处】
：
压电与声光
【发表日期】
：
2004年期
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