基于Clean算法的离子束抛光技术的驻留时间求法

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离子束抛光技术的关键在于对驻留时间进行求解,通常通过反卷积运算来完成。这在理论上可以实现,但是当需要加工量很小或趋于零时,加工时间就变为无穷大,此时变成一个病态问题。因此驻留时间的求解变得困难,出现的奇异值使加工难以实现。以Clean算法为基础提出了天文望远镜离子束抛光技术中对驻留时间求解的一种新的有效方法,并通过拟合来处理数据,理论上可以实现任何精度。更好地方便计算机控制的实现,为加工提供了基础。仿真结果表明,此方法所求驻留时间符合天文光学镜面离子束抛光技术的要求。
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