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Spectral Efficiency of Extreme Ultraviolet Emission from CO2Laser-Produced Tin Plasma Using a Grazin
Spectral Efficiency of Extreme Ultraviolet Emission from CO2Laser-Produced Tin Plasma Using a Grazin
来源 :黑龙江科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fdazhyy
【摘 要】
:
本文通过对荣华二采区10
【作 者】
:
WU Tao
WANG Xinbing
WANG Shaoyi
【机 构】
:
Wuhan National Laboratory for Optoelectronics, School of Optoelectronic Science and Engineering, Hua
【出 处】
:
黑龙江科技信息
【发表日期】
:
2013年5期
【关键词】
:
laser-produced plasma
extreme ultraviolet (EUV) emission
CO2 laser
spectral effi
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本文通过对荣华二采区10<
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