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提出了一种基于频域分离法的单端口静电激励-电容检测方案，解决了同频激励的双端口谐振器的耦合干扰问题，同时，采用单一电极简化了结构，既方便加工，又使检测电容的有效面积达到最大。通过对输出电流谐波组成成分的分析，选择了倍频激励方式；设计了谐振器的单端口静电激励-电容检测系统样机。实验结果表明：该系统样机可以成功获取谐振器的开环特性曲线和谐振频率、Q值等参数，为下一步实现单端口谐振器的闭环打下了基础。