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半导体制程电容元件匹配误差限制了电容阵列SARADC可获得的理论精度上限。本文分析了电容阵列匹配误差对SARADC分辨率的影响,同时推导出分割电容取值精度要求。基于半导体制程电容元件的匹配特性,提出级联分割电容阵列架构提升SARADC精度。本文指出,通过级联分割电容阵列架构减小电容阵列比值分布范围,提升电容匹配精度,从而获得高分辨率。