【摘 要】
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采用严格耦合波理论（RCWA）和多层近似法,详细的推导了任意面形介质光栅的衍射问题,得出了其矩阵求解方程,并采用增强透射矩阵法来避免直接求解带来的数值不稳定,提高了计算效率
【机 构】
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重庆文理学院物理与信息工程系,湖南文理学院物理与电子科学系
【基金项目】
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重庆市教育委员会科学技术研究项目资助（KJ071205）.
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采用严格耦合波理论（RCWA）和多层近似法,详细的推导了任意面形介质光栅的衍射问题,得出了其矩阵求解方程,并采用增强透射矩阵法来避免直接求解带来的数值不稳定,提高了计算效率.使用该方法对梯形光栅进行了数值计算,结果表明采用严格耦合波理论和多层近似法,可以方便、有效地求解任意面形介质光栅的衍射效率问题,计算中光栅在不同参数下衍射效率的总和严格等于1,且未有数值不稳定性问题.
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