基于椭圆路径的光学镜面超精密研磨技术研究

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利用基于椭圆成形方法建立的二次回转曲面加工误差模型,并用最小二乘方法建立了二次回转曲面铣磨误差辨识模型。考虑到各项误差对面形误差影响的相似性,分析了合并、分开辨识相似误差所引入的误差,以此得到处理相似误差的策略。 The error model of secondary rotary surface machining established by ellipse forming method was established and the error model of secondary rotary surface milling error was established by least squares method. Considering the similarities between the errors and the geometric errors, we analyze the errors introduced by combining and identifying similar errors separately, and get the strategy to deal with similar errors.
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